為何整合與跨領域協調如今成為決定測試結果的關鍵因素。
在半導體製造領域,測試機的性能向來是評估的重點,涵蓋速度、精準度及測量能力。然而,即便是最先進的測試機 仍需仰賴更廣泛的因素,方能充分實現最佳的產能、良率及 整體設備效率(OEE):測試單元。
隨著裝置複雜度不斷增加,加上製造時程日益緊迫,這種差異正變得愈發明顯——這些議題在SWTest 等產業論壇中佔據主導地位,其中晶圓層級的挑戰與系統整合更是議程中的首要議題。
理解測試單元:一個系統,而非單一工具
測試單元是一個高度整合的系統。它由測試機、機械手、處理器或探針機、介面硬體,以及探針卡和負載板等特定應用元件所組成。
每個元件都扮演著重要角色,但整體效能取決於它們在生產環境下如何協同運作。重點在於各元件之間的互動,而非單一元件。必須特別注意機械對位、電路導通性及運作同步性,因為任何介面上的微小效能缺失都可能影響生產。
這自然延伸至「測試區」的概念。在大規模運作中,多個測試單元會作為更大測試作業的一部分共同運作(想像成多排系統並行運作,通常涵蓋多種產品類型)。這些環境越來越多地仰賴自動化技術支援,從自主物料運輸系統,到可編程機械手臂,這些設備不僅能簡化換線流程,還能降低操作人員造成的變異性。
因此,測試單元最好不要被視為一組零件的集合,而應被視為一種系統架構,該架構必須在大量生產中能夠可靠且可重複地運作。
測試插入的演進:複雜性向上游推移
從歷史上看,半導體測試通常分為晶圓探測和最終測試兩個階段,其中更全面的驗證工作通常在流程的後期進行。如今,晶圓探測與最終測試之間的界線正逐漸模糊。
與此同時,裝置架構正從單片式設計轉向異質整合,將邏輯、記憶體及專用元件整合至先進封裝中。諸如小晶片(chiplets)、高頻寬記憶體(HBM)及共封裝光學元件等技術,亦為製造製程引入了新的中間階段。 隨著這項轉型,越來越多的測試正向晶圓探測階段靠攏(向左移),以期更早發現缺陷、降低後續製程成本,並支援當今更先進的裝置。
這些變更也產生了新的測試插入點,需要進行晶圓級、面板級以及子組件或模組級的測試。每次插入都會為測試單元帶來額外的處理要求,使其必須應對更高的腳位數、更大的供電需求,以及更嚴格的對位公差。
在新的限制條件下設計測試單元
隨著測試需求的演變,對測試單元設計的要求也日益嚴格。
最迫切的壓力之一在於佔地面積。隨著測試需求不斷增加,客戶被迫擴充測試機台的產能,這不僅對空間造成壓力,也促使市場對更高效的測試單元配置產生需求。設備尺寸、機械臂設計以及整體系統佈局等因素,都會影響在特定空間內能部署多少套系統,因此每平方公尺的產能便成為選擇測試單元配置時的重要考量因素。
專用硬體(例如探針卡和負載板)也日益複雜且成本高昂。這些元件通常需針對每種裝置進行客製化,這不僅增加了設計工作量,也提高了營運成本。在標準化與專用需求之間取得平衡,始終是一項持續的挑戰。
熱管理已成為關鍵的限制因素。高功率裝置——特別是在新一代運算與人工智慧應用中——需要主動式熱控系統,以在測試過程中維持精確的運作條件。這通常涉及測試機與處理器或探針之間的協調互動,並透過即時回饋來調節裝置層級的溫度。
隨著產品上市週期的縮短,這些挑戰更顯嚴峻。隨著產品週期加速,後期整合問題或重新設計的容錯空間也隨之減少。
綜上所述,這些因素正將測試單元工程轉變為一個多領域問題,必須同時考量電氣性能、機械完整性、熱行為及運作效率。
泰瑞達的角色:打造開放且整合的生態系統
在此背景下,泰瑞達的角色已超越測試機本身。泰瑞達並未試圖將測試單元的每個環節進行垂直整合,而是致力於建立一個由搬運機、探針台及介面合作夥伴所組成的開放式生態系統。
這種開放式生態系統的方法以靈活性為首要考量。客戶可根據其應用場景與製造策略,靈活選擇性能、成本、服務及相容性等不同組合。在整個生態系統中及早達成共識至關重要。若將關於處理器、介面及應用硬體等關鍵決策延後至開發週期的後期,不僅會增加風險,更可能延遲量產時程。
泰瑞達的開放式生態系統,體現於其與各新興應用領域的專業設備供應商所建立的合作關係。例如,我們近期與東京電子 共同宣布的整合式測試單元解決方案,便凸顯了聯合解決方案如何能解決「已知良品裝置篩選」的問題——這項新興的測試插入技術,對於先進封裝至關重要。透過整合泰瑞達的 UltraFLEXplus 平台與東京電子的 Prexa SDP(單顆元件探針機),該整合系統得以針對先進人工智慧及資料中心元件封裝,實現量產規模的已知良品元件測試。
此類合作模式凸顯了在日益複雜的工作流程中,要交付可投入生產的系統所需具備的條件。要取得成功,不僅需要在硬體介面層面達成一致,更須涵蓋資料交換、流程運作及自動化等各個層面。隨著裝置架構的演進,此種生態系統協調已成為不可或缺的關鍵。
從能力到部署:整合如何定義價值
測試單元正是工程能力與製造實務交匯之處。 這是測試儀器的性能必須轉化為設備運行時間、產能及良率的關鍵節點。能否達成這些目標,不僅取決於個別元件的能力,更取決於整個系統的整合與部署是否有效。
展望未來,成功的企業將不再將測試單元視為一組設備,而是視為一個協同運作的生產系統——這個系統不僅依賴其核心的測試儀器,更仰賴周遭的夥伴關係、流程與工具。
Denis Kang是泰瑞達(Teradyne)運算測試事業部的產品經理,負責領導UltraFLEXplus 測試單元行銷及生態系策略。他擁有逾 20 年的豐富經驗,涵蓋半導體自動測試設備(ATE)、電子製造用視覺量測系統、無線電信基礎設施以及衍生性金融商品交易系統等領域,不僅具備紮實的技術基礎,更專注於市場推廣與合作夥伴關係的建立。 Denis 擁有首爾光云大學(Kwangwoon University)的電腦科學學士學位,以及伊利諾大學厄巴納-香檳分校(University of Illinois Urbana-Champaign)的工商管理碩士(MBA)學位。