スキャン不合格データの収集、その次は？ 診断の概要：デバイスのライフサイクルを通じて、歩留まりのモニタリングは常に必要とされます。製造適性設計（DFM）の役割は、生産効率を最大化するためにデバイス設計をどのように改善できるかを特定することです。故障診断と故障解析は、そのメカニズムを理解するための重要な要素です。構造試験であるスキャン試験は、故障を設計に紐づけるための主要な情報源となります。 この分析を行うには、スキャンデータの収集が不可欠です。エンジニアリング段階から量産段階に至るまで、あらゆるレベルでそのデータを収集するのは、自動試験装置（ATE）の役割です。本稿では、テラダインがスキャン失敗情報をどのように収集し、報告しているかについて説明します。STDFのスキャン固有のエントリに加え、ScanFalconによるASCII出力についても取り上げます。その後、次のステップとして、設計チームがATEから報告された結果をどのように処理し、設計上の改善点を特定していくかについて議論します。